展示テーマと見どころ

様々な微細精密加工を実現

コンパクトで高精度!様々な微細精密加工を実現する業界初の横型微細加工機。省スペース、省エネルギーに 加え、4万rpmの主軸は日本初の純銅製ロータを採用し横型でありながら0.5μm以下の振れである。また、全 軸リニアシャフトモータ・0.01μmのリニアスケールの採用で高精度な位置決め精度を実現した。さらに、低 膨張鋳物や主要部は液冷却による熱変位システムも駆使し、動的精度も向上させている。