展示テーマと見どころ

最先端の測定機器

・5軸ステージ付き3D測定顕微鏡 マイクロメートル以下の分解能で360度全周方向からの3次元形状計測を実現。機械工具の刃先形状の精密計測や表面粗さの解析に。 ・レーザー干渉式変位センサ ピコメートルの分解能を実現。CMMの位置決め機構の校正など超精密な変位測定が必要となる用途に。 ・静電容量型変位センサ スピンドルの軸ぶれや直進ステージの真直度・平坦度をナノメートルスケールで計測。